超纯水系统总体来说一般可分为三个部分:超纯水制造区(CUB部分)、超纯水抛光循环区(FAB部分)、超纯水输送管网(FAB各使用区)。

　　超纯水系统工艺流程：

　　1、预处理→反渗透→水箱→阳床→阴床→混床→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→精密过滤器→用水对象

　　2、预处理→一级反渗透→加药泵（PH调节）→中间水箱→二级反渗透→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象

　　3、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象

　　4、预处理→反渗透→中间水箱→水泵→EDI装置→纯化水箱→纯水泵→紫外线杀菌器→精制混床→0.2或0.5μm精密过滤器→用水对象

　　超纯水系统主要特点：

　　*该系统一切动作均在预设程序下自动进行，具备全自动功能。

　　*系统结构布置紧凑，有效节约空间。

　　*系统能耗低，制水成本低廉。

　　*系统运行安全可靠，供水管路封闭，出水水质稳定。

　　超纯水系统适用范围：生产半导体、光伏太阳能、集成电路芯片及封装、液晶显示、高精度线路板、光电器件、各种电子器件等电子工业用超纯水系统。